[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-D6-1] 物理気相成長法によるアモルファス同位体炭素膜の作製

^○鈴木裕太郎，藤井瞭，大竹尚登，赤坂大樹 (東工大)

キーワード：アモルファス炭素,同位体効果