[17a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17a-D6-3] パルスバイアス電圧印加高周波プラズマCVD法による水素化アモルファス炭素膜の構造変化

^○周小龍，小松啓志，戸田育民，大塩茂夫，村松寛之，伊藤治彦，齋藤秀俊 (長岡技科大院)

キーワード：水素化アモルファス炭素膜,構造変化