[17a-F4-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[17a-F4-9] 二段階引出によるTOF-SIMSの質量分解能向上

^○長嶋悟¹，坂本哲夫²，佐藤孝樹³，藤井正明³ (トヤマ¹，工学院大²，東工大³)

キーワード：TOF-SIMS