[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-10] SiCトレンチMOSFETの移動度解析

^○朽木克博¹，河路佐智子¹，渡辺行彦¹，宮原真一朗²，斎藤順³ (豊田中研¹，デンソー²，トヨタ自動車³)

キーワード：炭化ケイ素,移動度,電界効果トランジスタ