[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-14] レーザアニールを用いたオーム性接触形成技術

^○富永貴亮，岡部博明，中西洋介，須賀原和之，冨田信之，山川聡 (三菱電機)

キーワード：SiC,laser