[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-2] ｵﾌ基板上での4H-SiC溶液成長におけるｽﾃｯﾌﾟﾊﾞﾝﾁﾝｸﾞと結晶極性

^○遠藤奨太¹，亀井一人^1,2，岸田豊²，森口晃治² (東北大院環境科学¹，新日鐵住金先端研²)

キーワード：SiC,溶液成長,ステップバンチング