[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-5] NF₃添加酸化によるSiO₂/SiC(0001)界面の安定化

^○（M1）名越政仁，蓮沼隆，山部紀久夫 (筑波大)

キーワード：炭化ケイ素,二酸化ケイ素