[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-8] SiC結晶の表面モフォロジーと転位の関係

^○生頼義久¹，渡邉俊哉¹，佐藤高広¹，一色俊之²，福井宗利¹ (日立ハイテク¹，京都工芸繊維大²)

キーワード：SiC,転位,走査電子顕微鏡