[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-9] 高感度発熱解析によるSiCデバイス中リーク箇所の同定

^○小山皓洋^1,2，渡邊寛^1,2，纐纈英典^1,2，長江明美^1,2，田中貴規²，中西洋介^1,2，中村勇²，中田修平^1,2，山川聡^1,2 (FUPET¹，三菱電機²)

キーワード：SiC,半導体