[17p-D4-1~13] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[17p-D4-11] 高温動作単一磁束量子回路のためのNbTiN/AlN_x/NbTiN接合の作製

^○（M1）坂本隼也，赤池宏之，藤巻朗 (名大工院)

キーワード：NbTiN,SFQ,NbN