[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-D6-5] アモルファス窒化炭素薄膜における光応答速度の作製温度依存性

^○原田人萌，青野祐美，田村尚之，北沢信章，渡邉芳久 (防大材料)

キーワード：アモルファス,窒化炭素,光応答