[17p-E10-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-E10-1] β-Ga₂O₃単結晶のシンクロトロンX線トポグラフィー観察

^○（BC）桝谷聡士¹，村上竜一¹，輿公祥²，倉又朗人²，飯塚和幸²，嘉数誠¹ (佐賀大院工¹，タムラ製作所²)

キーワード：X線トポグラフィー