2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

2014年3月17日(月) 13:15 〜 16:45 E5 (E105)

14:45 〜 15:00

[17p-E5-7] PVT成長法を用いた4H-SiC単結晶における基底面転位の低減に対するヒーター電力制御の最適化

高冰,中野智,柿本浩一 (九大応力研)

キーワード:SiC