[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-6] パルスDCマグネトロンプラズマ中の酸素負イオン計測

^○（M1）福岡侑士¹，小川勇人¹，高田昇治²，豊田浩孝^1,3 (名大工¹，名大技術部²，名大プラズマナノ工学研究センター³)

キーワード：マグネトロンプラズマ,負イオン