PDF ダウンロード スケジュール 3 いいね! 0 15:00 〜 15:15 [17p-F4-5] ガスクラスターイオンビームによる4H-SiC表面の室温酸化及び平坦化 ○日野浦諒1,山口明良1,児島誠1,豊田紀章1,原謙一2,山田公1 (兵庫県立大院工学研究科1,東京エレクトロン2) キーワード:ガスクラスターイオンビーム