[17p-PA2-1~27] 5.0 光エレクトロニクス（ポスター）

[17p-PA2-13] 3D-AFMおよびCDSEMによるSi光導波路側面ラフネス解析

^○平山直紀^1,2，山岸雅司^1,2，埜口良二^1,2，斉藤茂^1,2，高橋博之^1,3，堀川剛^1,2 (光電融合技術開発機構¹，産総研²，光電子融合基盤技術研³)

キーワード：光導波路,Edge roughness,AFM