[17p-PA2-1~27] 5.0 光エレクトロニクス（ポスター）

[17p-PA2-21] テーパー構造を持つ表面プラズモン共鳴型シリコン光変調器

^○田部井哲夫，横山新 (広大ナノデバイス研)

キーワード：シリコン光変調器,表面プラズモン