[17p-PG1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PG1-4] Ba₂NaNb_5xTa_5(1-x)O₁₅薄膜の構造と誘電特性

^○福住正文¹，前中一介²，吉岡秀樹¹ (兵庫県立工技センター¹，兵庫県立大²)

キーワード：誘電体薄膜,配向性