[17p-PG2-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-PG2-14] RFリアクティブスパッタ法によるCu2O薄膜の成長とCu2O系太陽電池の試作

^○清酒泰介，山下貴史，杉山睦 (東理大 理工/総研)

キーワード：Cu2O,Solar Cells,RFスパッタ