[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-18] 非晶質SnO₂薄膜の電気伝導：Ta置換量依存性

^○中尾祥一郎^1,2，廣瀬靖^1,2,3，福村知昭^1,2,3，長谷川哲也^1,2,3 (KAST¹，CREST²，東大理³)

キーワード：酸化スズ,pulsed laser deposition,非晶質