[18a-D10-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-D10-1] キレート剤を用いた大口径非鉛KNN圧電薄膜のウエットエッチング

^○堀切文正，柴田憲治，末永和史，渡辺和俊，野口将希 (日立金属)

キーワード：圧電,ウエットエッチング,非鉛