[18a-D10-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-D10-4] ドメイン体積分率制御した(100)/(001)配向正方晶Pb(Zr,Ti)O3薄膜の圧電挙動の評価

^○大島直也¹，江原祥隆¹，及川貴弘¹，内田寛²，舟窪浩¹ (東工大¹，上智大²)

キーワード：薄膜,圧電材料