[18a-D3-1~14] 15.1 バルク結晶成長

▲ [18a-D3-12] CZ法における炭素混入を考慮したシリコン原料融解過程の数値解析

^○劉?，高冰，中野智，柿本浩一 (九大応力研)

キーワード：単結晶