[18a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-D6-5] 熱フィラメント法で成長した単結晶ダイヤモンド膜の構造評価

^○大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一 (産総研ユビキタス)

キーワード：ダイヤモンド,フィラメント,単結晶