2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18a-E10-1~10] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E10 (E204)

09:00 〜 09:15

[18a-E10-1] スプレー法による酸化亜鉛薄膜の大面積化

明永裕樹1,小林義典1,宮地計二1,井手亜貴子2,吉野賢二2 (旭サナック1,宮崎大工2)

キーワード:酸化亜鉛,スプレー法