[18a-E10-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18a-E10-2] SiO₂/GZO積層膜の電気特性のアニール温度依存性

^○井上創太，菊池大樹，一柳成治，舩木修平，山田容士 (島大総理工)

キーワード：透明導電膜,GZO