[18a-E12-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-E12-3] Cat-CVDを用いて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合界面の表面酸化による品質改善

^○及川貴史¹，大平圭介^1,2，松村英樹^1,2 (北陸先端大¹，JST CREST²)

キーワード：太陽電池