2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月18日(火) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

10:00 〜 10:15

[18a-E14-5] ClF3クラスタービームによる大面積Siエッチング技術（2）

○吉野裕1，妹尾武彦1，小池国彦1，瀬木利夫2，青木学聡2，松尾二郎2 (岩谷産業1，京大院工2)

キーワード：Siエッチング