[18a-F12-1~13] 3.7 近接場光学

[18a-F12-13] ドレスト光子エッチングにおける偏光依存性に関する検討

^○八井崇^1,2，坂野斎³，信定克幸⁴，Fabrice Stehlin⁵，Olivier Soppera⁵，川添忠¹，大津元一¹ (東大院工¹，JST ALCA²，山梨大工³，分子研⁴，IS2M/ CNRS UMR⁵)

キーワード：ドレスト光子,エッチング,偏光