[18p-D4-1~13] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

△ [18p-D4-8] TFA-MOD法を用いた一回塗り厚膜仮焼膜の内部構造

^○林真理子，荒木猛司，小林奈央，福家浩之 (東芝研究開発センター)

キーワード：TFA-MOD,一回塗り,厚膜