[18p-D8-1~15] 13.2 絶縁膜技術

△ [18p-D8-9] GaN (0001) 表面におけるトリメチルアルミニウム分子吸着の理論的研究

^○近田旬佑，高尾将和，本多敦史，檜貝信一，白露幸祐，藤井高志 (村田製作所)

キーワード：トリメチルアルミニウム,分子吸着,第一原理計算