[18p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[18p-E14-7] ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討

^○林隆平¹，中澤寛一¹，西村祐典¹，石田誠¹，澤田和明¹，石井仁¹，町田克之^2,3，益一哉²，飯田健一郎⁴，齋藤光正⁴，吉田眞一⁴ (豊橋技科大¹，東工大²，NTTｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾃｸﾉﾛｼﾞ³，九大医学研究院⁴)

キーワード：MEMS,レジオネラ,蛍光