[18p-F11-1~17] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18p-F11-14] 汎用マグネトロンスパッタ装置を用いたＩＴＯナノワイヤーの形成

^○山本直樹¹，森澤桐彦¹，村上淳之介²，中谷康弘² (高知工科大¹，積水化学工業²)

キーワード：ITO,ナノワイヤー,マグネトロンスパッター