[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

△ [18p-F3-15] ナノインプリントにおけるレジスト収縮と離型のシミュレーション

^○（B）栩野貴充，塩津隆弘，植村公亮，安田雅昭，川田博昭，平井義彦 (阪府大)

キーワード：ナノインプリント,離型,シミュレーション