[18p-F7-2~10] 21世紀グラフェン産業を支えるプラズマプロセスの現状と展望

[18p-F7-7] RFプラズマによるグラフェンへの窒素ドーピング（30分）

^○斉木幸一朗 (東大新領域)

キーワード：RFプラズマ,窒素ドープ