[18p-PG1-1~2] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[18p-PG1-1] 高精度積層構造分析技術の開発

^○白水達也，河原弘幸，上辻哲也 (三菱電機先端総研)

キーワード：飛行時間型二次イオン質量分析,積層構造,深さ方向元素分布分析