[19a-D10-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-D10-1] 8インチ基板上へのPZT膜高速形成技術

^○土井利浩，桜井英章，曽山信幸 (三菱マテリアル)

キーワード：PZT,薄膜,ゾルゲル