[19a-D10-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-D10-9] 化学溶液堆積法によるBaTiO₃-Bi(Mg_1/2Ti_1/2)O₃系固溶体薄膜の作製

^○茂木翔太¹，金子祈之²，木村純一²，舟窪浩²，内田寛¹ (上智大理工¹，東工大物創²)

キーワード：チタン酸バリウム,固溶体,化学溶液堆積法