[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-4] シリコンインクを用いたアモルファスSiC膜の作製

^○増田貴史^1,2，申仲栄^1,3，高岸秀行^1,3，大平圭介^1,2,3，下田達也^1,2,3 (北陸先端大¹，北陸先端大GDRC²，JST-ALCA³)

キーワード：シリコンインク