2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

16.非晶質・微結晶 » 16.2 プロセス技術・デバイス

[19a-D2-1~11] 16.2 プロセス技術・デバイス

2014年3月19日(水) 09:30 〜 12:30 D2 (D113)

11:30 〜 11:45

[19a-D2-8] Si/Ge多層薄膜を用いた赤外線イメージセンサ用薄膜材料の構造検討

太田裕紀,中村優平,宝田隼,古川昭雄 (東理大)

キーワード:Infrared Image Sensor