[19a-F12-1~13] 13.4 デバイス/集積化技術

[19a-F12-3] 多結晶金属ゲートの結晶粒に起因するFinFET特性ばらつきの解析

^○松川貴，福田浩一，柳永勛，遠藤和彦，塚田順一，山内洋美，石川由紀，大内真一，水林亘，太田裕之，右田真司，森田行則，昌原明植 (産総研ナノエレ部門)

キーワード：FinFET,ばらつき