2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[19a-F7-1~10] 6.5 表面物理・真空

2014年3月19日(水) 09:15 〜 12:00 F7 (F307)

09:30 〜 09:45

[19a-F7-2] Si吸着SiC(0001)表面のNOを用いた熱酸窒化と低速電子回折による構造解析

幸松諒,中川剛志,水野清義 (九大総合理工)

キーワード:シリコンカーバイド