2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

[19a-PG3-1~13] 14.1 探索的材料物性

2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PG3 (G棟2階)

09:30 〜 11:30

[19a-PG3-7] AIC多結晶Si基板上へのMg2Si薄膜の固相成長

○川口覚，日高翔，橋本哲弥，勝俣裕 (明治大)

キーワード：Al誘起成長法,多結晶Si薄膜,Mg2Si