[19a-PG4-1~2] 15.1 バルク結晶成長

[19a-PG4-1] 赤外線集中加熱浮遊帯溶融(IR-FZ)法によるシリコン結晶育成における回転楕円鏡の移動効果

^○綿打敏司^1,2，ムクタールホサイン¹，長尾雅則¹，田中功¹ (山梨大院クリスタル研¹，JSTさきがけ²)

キーワード：浮遊帯溶融法,界面形状