[19p-D1-1~20] 4.7 レーザー・プロセッシング

[19p-D1-20] レーザープラズマ軟Ｘ線によるシリカガラスのアブレーション

^○鳥居周一¹，牧村哲也¹，新納弘之²，村上浩一¹ (筑波大院 電子・物理工学¹，産総研 環境化学技術²)

キーワード：軟Ｘ線, シリカガラス, アブレーション