[19p-D1-1~20] 4.7 レーザー・プロセッシング

△ [19p-D1-5] フェムト秒レーザー照射による酸化チタン膜の光学特性変化

^○西井諒介¹，塚本雅裕²，篠永東吾¹，高橋雅也³ (阪大院工¹，阪大接合研²，大阪市工研³)

キーワード：フェムト秒レーザー,酸化チタン膜