[19p-D10-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-D10-2] 可変容量BST薄膜の電極探索②～BST特性改善のための下部電極に着目したアプローチ～

岸本諭卓¹，^○村内大樹¹，大門道子¹，木村哲也¹，加藤英幸¹，門田道雄^1,2 (村田製作所¹，東北大²)

キーワード：BST