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一般セッション(口頭講演)

06．薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[19p-D10-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

2014年3月19日(水) 14:00 〜 15:30 D10 (D316)

15:00 〜 15:15

[19p-D10-5] (Ba, Sr)TiO₃薄膜の液相堆積における錯化剤EDTAの有効性

^○剱持文宏，柏森正樹，横田直也，羽路伸夫 (横国大工)

キーワード：Liquid-Phase-Deposition,Thin Film,High-k