[19p-D3-1~14] 14.1 探索的材料物性

[19p-D3-11] β-FeSi₂の電気特性‐膜厚依存性

^○嘉藤貴史¹，稲村太一¹，佐々木亮人³，青木克明³，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，東芝マテリアル³)

キーワード：FeSi2,環境半導体,光吸収係数