[19p-D3-1~14] 14.1 探索的材料物性

[19p-D3-12] リモート水素プラズマ支援によるFeシリサイドナノドットの高密度形成

^○張海¹，牧原克典¹，大田晃生²，池田弥央³，宮崎誠一¹ (名大院工¹，名大VBL²，広大院先端研³)

キーワード：シリサイドナノドット,鉄シリサイドナノドット,水素プラズマ